XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)
于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)技术参数:
型 号 | XP-703D |
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | 型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
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